新機來襲!德國非接觸方塊電阻測試儀樣機限時體驗
EddyCus® lab 2020 系列方塊電阻測試儀樣機是一款臺式實驗系統(tǒng),它采用渦流技術(shù),完美替代四探針方案,用于非接觸式單點測量導(dǎo)電薄膜的金屬層厚度和方塊電阻。它能夠快速、精確地測量zui大200 x 200 mm²(8 x 8英寸)樣品,并支持多種材料,包括薄金屬層、晶圓和導(dǎo)電聚合物等材料。
非接觸式單點方塊電阻測試儀提供了一種現(xiàn)代、無接觸的傳統(tǒng)四點探頭(4PP)及其他接觸式測量方法的替代方案。無需物理接觸,無需表面準(zhǔn)備,且不受封裝或表面粗糙度的影響。
lab 2020 系列方塊電阻測試儀能夠測量多個參數(shù)。方塊電阻與金屬層厚度、發(fā)射率和電阻率相關(guān)。只要材料性質(zhì)明確,所有這些參數(shù)都可以高精度測量。

測量參數(shù):
金屬厚度(nm, um)
方塊電阻(Ohm/sq)
發(fā)射率
電導(dǎo)率/電阻率(mOhm·cm)
電各向異性(%)
重量 (g/m’) 和烘干狀態(tài) (%)
滲透性(H/m) Beta

四探針傳統(tǒng)方法對比
| 對比維度 | 四探針測試 | 非接觸電渦流測試(EddyCus) |
|
方案 |
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| 接觸方式 | 觸點式測量,觸點質(zhì)量影響結(jié)果 | 非接觸式,實時無損 |
| 測量范圍 | 單點測量,部分支持Mapping成像 | 高分辨率Mapping成像,支持在線過程控制 |
| 對樣品影響 | 可能損壞敏感面,無法測量封裝后薄膜 | 對敏感膜無傷害或偽影,可測封裝膜層和多層膜系統(tǒng) |
| 測量類型 | 僅支持單點方塊電阻測試 | 支持多種膜層與系統(tǒng)測量 |
| 探頭耐久性 | 探頭隨時間磨損 | 無磨損,使用壽命長 |
| 適用場景 | 適用于部分簡單薄膜測量 | 適用于觸摸型敏感層及多層膜系統(tǒng)等精密場景 |

Mapping圖
應(yīng)用場景

導(dǎo)電薄膜

觸摸面板

導(dǎo)電紡織品

智能玻璃

電池電極

各類晶圓等
樣機設(shè)備適配參數(shù)
| 基板面積 | 8 inch / 204 mm × 204 mm(三面開放) |
| zui大樣本厚度 / 傳感器間隙 | 3 / 5 / 10 / 25 mm(由zui厚的樣本確定) |
| 方阻范圍 | 0.001 – 3,000 Ω/sq |
| 方阻準(zhǔn)確性/偏差 | ±1 – 3% |
| 方阻重復(fù)性 (2σ) | <0.3 – 3% |
|
金屬厚度范圍與精度 |
低:1 – 10 nm;精度 2 – 5 % |
| 標(biāo)準(zhǔn):10 – 1,000 nm;精度 1 – 3 % | |
| 高:1 – 100 μm;精度 0.5 – 3 % | |
| (精度受設(shè)置及金屬類電導(dǎo)率影響) | |
|
電阻率測量 |
3 mm線圈:1 – 100 mΩ·cm;精度 < 3%,重復(fù)性 < 0.3% |
| 9 mm線圈:1 – 1,000 mΩ·cm;精度 < 5%,重復(fù)性 < 2% | |
|
薄層電阻測量 |
3 mm線圈:0.01 – 10 Ω/sq;精度 1 – 3%,重復(fù)性 < 1% |
| 9 mm線圈:0.01 – 100 Ω/sq;精度 < 3%,重復(fù)性 < 0.3% | |
| 設(shè)備尺寸(寬 × 高 × 深) | 11.4" × 5.5" × 17.5" / 290 mm × 140 mm × 445 mm |
| 設(shè)備重量 | 10 kg |
設(shè)備控制和軟件



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體驗時間:即日起至2026年2月10日
體驗形式:寄樣測試(上門測試限部分地區(qū))
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